产品简介

       MFC-100 质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量， MFC-100 型质量流量控制器是基于业内先进的微机电（MEMS）流量芯片技术，结合高速 采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的 气体控制器产品，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。产品支持数字型和 模拟型两种，模拟型产品采用 0～5V 模拟信号输入输出，数字型产品采用 RS485 通讯。

产品特点 

 精度高，响应快

 长期稳定性，良好的重复性

 温度压力影响小

 兼容多种信号输出方式

技术参数 

参数名称 技术指标 

量程 （0~10,20,50,100，200，500） sccm （0~1,2,5,10,20,50） SLM 

阀控类型 常闭 

准确度 ≤±1% F.S. 

重复性 ＜0.5% 

工作压差 （0.1~0.4）MPa 

温漂 ＜0.05%F.S./℃ 

环境温湿度 5~40℃,0~90RH% 

耐压 1MPa 

输入信号 （0~5）VDC，RS485 

输出信号 （0~5）VDC，RS485 

气路接口 G1/4 -1/4 (SLM)；G1/4 -1/8 (SCCM) 

供电电压 DC24V 

功耗 ＜2.4w 

尺寸 长*宽*高：80mm*36mm*57mm 

产品应用

 半导体集成电路工艺、特种材料 

 化学工业、石油工业 

 医药、环保和真空等领域 

 分析检测仪器行业